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技術(shù)編號：6869168

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本發(fā)明是有關(guān)于一種半導(dǎo)體元件的制造方法，且特別是有關(guān)于一種金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管(Metal Oxide Semiconductor Transistor，簡稱MOS Transistor)的制造方法。但是當(dāng)元件往小型化發(fā)展時，常會因為信道縮短而使得源/漏極的損耗層(Depletion Layer)與信道產(chǎn)生重疊；而且信道長度愈短，其與源/漏極的損耗層產(chǎn)生重疊的比例就愈高，如此將縮短信道的實質(zhì)長度，稱為“短信道效應(yīng)”(Short Channel Effec...
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