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雪崩光電二極管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6869103

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本發(fā)明涉及使用半導(dǎo)體的受光元件,特別是涉及暗電流低,長(zhǎng)期 可靠性高的雪崩光電二極管。背景技術(shù)光通信等中使用的雪崩光電二極管是除了設(shè)置進(jìn)行光電變換的光吸收層之外,還設(shè)置將光電變換的載流子雪崩(avalanche)倍增的 層,由此提高感光靈敏度的半導(dǎo)體受光元件,要求暗電流低并且具有 高的可靠性。所述的雪崩光電二極管的多數(shù)由化合物半導(dǎo)體形成,從其構(gòu)造可 大致劃分為臺(tái)面構(gòu)造和平面構(gòu)造。臺(tái)面構(gòu)造是采用在襯底上形成臺(tái)面 (臺(tái)地),在同一臺(tái)面中包含pn結(jié)的構(gòu)造,在臺(tái)面周...
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