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紅外線檢測裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6868440

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本發(fā)明涉及一種紅外線檢測裝置,尤其是關(guān)于測輻射熱儀、熱電堆、焦電傳感器、二極管方式及雙金屬方式等熱式紅外線檢測裝置。背景技術(shù) 作為測輻射熱儀、熱電堆、焦電傳感器、二極管方式及雙金屬方式等熱型紅外線檢測裝置,公知有例如,記載在專利文獻(xiàn)1中的裝置。在該文獻(xiàn)中所記載的紅外線檢測裝置構(gòu)造為,在形成于硅基板上的受光部的前面,具有空隙地配置紅外線受光窗,受光窗在包圍受光部的范圍的結(jié)合面上與基板氣密地結(jié)合從而固定,并使空隙的內(nèi)部為真空。但是,上述紅外線檢測裝置問題在于,...
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