技術(shù)編號(hào)：6866524
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及例如在集成電路等的電路的電檢查中適合作為用于進(jìn)行對(duì)電路的電連接的探針裝置的片狀探針及其制造方法以及其應(yīng)用。背景技術(shù) 例如在形成了多個(gè)集成電路的晶片或半導(dǎo)體元件等的電子部件等的電路裝置的電檢查中使用了具有按照與被檢查電路裝置的被檢查電極的圖案對(duì)應(yīng)的圖案配置的檢查電極的檢查用探針。作為這樣的檢查用探針，以前使用了排列由銷釘或刀片構(gòu)成的檢查電極形成的裝置。然而，在被檢查電路裝置是形成了多個(gè)集成電路的晶片的情況下，在制作用于檢查晶片的檢查用探針的情況下，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。