技術編號：68660
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及ー種掃描探針顯微鏡(SPM)進針裝置及進針方法。背景技術掃描探針顯微鏡(SPM)作為ー種高分辨率的三維形貌檢測儀器，不僅在生物學領域得到了廣泛應用，同時得到了半導體產(chǎn)業(yè)界的高度重視(T. Ando, “High-speed atomicforce microscopy coming ofage”，Nanotechnology, 2012，2306200-062028. )。SPM 在樣品表面掃描時，微懸臂梁上的探針與樣品相互作用，引起微懸臂梁偏轉，該偏轉信號用于表征樣品表面的形貌變化，并能達到原子...
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