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電子測試裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6862684

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本實用新型涉及一種電子測試裝置,尤其涉及多個空間轉(zhuǎn)換基板及探針基板組立的電子測試裝置。背景技術(shù)集成電路尚未封裝前,以電子測試裝置(或稱探針卡)對裸晶(bare chip)以探針 (probe)做功能測試,篩選出不良品、再進行之后的封裝工程。因此,是集成電路制造中對制造成本影響相當大的重要制程;此電子測試裝置可使成品的良率由原來的70%提升至 90%,20%的良率貢獻度對1 %良率差異都錙銖必較的半導體廠而言,影響甚巨。簡言之,此電子測試裝置是一測試機臺與晶...
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