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通過精確的晶片定位對(duì)準(zhǔn)消除系統(tǒng)處理的成品率下降的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6857662

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背景技術(shù) 一般地說,本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體器件處理方法。具體地說,本發(fā)明涉及一種處理半導(dǎo)體器件時(shí),通過精確晶片定位對(duì)準(zhǔn)消除系統(tǒng)處理的成品率下降。背景技術(shù) 把電子器件和彼此連接限定于半導(dǎo)體基板或晶片表面上或其附近的各種處理方法都是眾所周知的。這樣的處理包括使用光致抗蝕劑對(duì)表面繪制圖樣,利用光刻、離子注入等去蝕刻材料,以確定器件和膜的淀積,以及繪制彼此連接的圖樣。這些處理通常已被眾所周知,而且處于穩(wěn)定的精加工中,以提高合格率。所說的合格率是由基板制成的優(yōu)良半導(dǎo)體芯片...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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