技術(shù)編號:6854764
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及非易失性存儲器件,本發(fā)明更特別地涉及用于非易失性存儲器件的晶體管及其制造方法。背景技術(shù) 隨著非易失性存儲器件的集成度的提高,通過相應減小存儲單元的電流和耦合比,難以制造更高集成度的非易失性存儲器件,但是在現(xiàn)有存儲單元內(nèi)這是可以的。在多個存儲單元串聯(lián)在一起的NAND型非易失性存儲器件中,減小存儲單元的電流尤其困難。如圖1所示,NAND型非易失性存儲器件包括選擇晶體管和多個串聯(lián)的存儲單元。存儲單元的柵極連接到字線WL。選擇晶體管的柵極連接到地選擇線G...
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