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掩模及其制造方法和用其制造薄膜晶體管的方法技術資料下載

技術編號:6854707

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本發(fā)明總體涉及用于制造多晶硅的掩模及其制造方法以及使用該掩模制造薄膜晶體管的方法,更具體地用于使非晶硅結晶成為多晶硅的掩模及其制造方法,以及用該掩模制造薄膜晶體管的方法。背景技術 液晶顯示器(LCD)包括具有電極的一對基板和夾在基板之間的液晶層。通過通常沿著基板邊緣印刷的密封層使基板彼此粘接。當彼此連接時,基板密封液晶層。通過電極將電場施加到液晶層。液晶層具有各向異性介電常數(shù),并且通過改變電場調節(jié)穿過液晶層的光的透射來顯示圖像。薄膜晶體管(TFT)用于控制...
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