技術(shù)編號:6853023
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體,特別是指化合物半導(dǎo)體銦砷/鎵砷(InAs/GaAs)量子點(diǎn)材料的分子束外延(MBE)生長方法。背景技術(shù) 在光通訊技術(shù)中,波長為1.3微米(μm)的光在光纜中傳播時(shí)損耗最小。因此,1.3μm半導(dǎo)體激光器在光通訊技術(shù)中具有關(guān)鍵性的作用?,F(xiàn)在制作1.3μm激光器的半導(dǎo)體材料主要是銦鎵砷磷/銦磷(InGaAsP/InP)量子阱。上個(gè)世紀(jì)九十年代以后,由于量子點(diǎn)材料的基本性質(zhì)在理論上的優(yōu)越性,人們深入地研究和開發(fā)化合物半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)量子點(diǎn)材料,特別是...
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