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精密工作臺(tái)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6849123

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相關(guān)申請(qǐng)本申請(qǐng)要求1999年11月5日提交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)No.60/163,846的優(yōu)先權(quán)。本申請(qǐng)涉及作為本申請(qǐng)同一天提交的Martin E.Lee提出的、案卷號(hào)為No.ID 0011 US、發(fā)明名稱(chēng)為《柔性關(guān)節(jié)》的待審查的美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)。由于帶電粒子波長(zhǎng)與亞微米特征的比較的大小,帶電粒子(特別是電子)束金屬版印刷對(duì)現(xiàn)實(shí)亞微米特征尺寸是一項(xiàng)重要技術(shù),然而,在帶電粒子束金屬版印刷系統(tǒng)中,真空和高壓兼容能力是一個(gè)固有的設(shè)計(jì)難題。為了加速一帶電粒子束,例如一電子束...
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