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技術(shù)編號：6846057

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發(fā)明背景技術(shù) 領(lǐng)域本發(fā)明涉及微機(jī)電(MEM)器件領(lǐng)域，更具體地說涉及MEM開關(guān)及其應(yīng)用。相關(guān)技術(shù)描述許多電路都需要有多路復(fù)用功能，其中，輸入信號可以選擇地被切換到N輸出端中的一個輸出端。通常，這種功能是采用機(jī)電或者固態(tài)開關(guān)(典型的是場效應(yīng)晶體管(FET))來實現(xiàn)的，它可根據(jù)需要被閉合，以提供所需要的信號路徑。然而，使用固態(tài)開關(guān)會存在著一些問題，尤其是在非常高的頻率下。能夠操縱這種頻率的集成開關(guān)一般都是采用砷化鎵(GaAs)MESFET或PIN二極管電路來實...
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