技術(shù)編號：6844355
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明一般涉及等離子體發(fā)生系統(tǒng)的設(shè)計和實現(xiàn)。更具體地說，本發(fā)明涉及射頻放大器、天線和用于連接放大器和天線以生成等離子體的有效電路連接。背景技術(shù)等離子體一般被看作物質(zhì)的第四態(tài)，其它的狀態(tài)是固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)。在等離子體態(tài)中，物質(zhì)的基本成分基本上是電離形式，其中，由于這些成分增強的反應(yīng)性、能量以及對定向光束形式的適用性，因此使這些成分可用于許多應(yīng)用。等離子體發(fā)生器常規(guī)地用在電子構(gòu)件、集成電路、醫(yī)療裝備的制造中，以及多種工具和機器的工作中。例如，等離子體廣泛用于淀...
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