技術編號：6844157
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及襯底的制造方法，該方法包括在該襯底上提供雙鑲嵌(damascene)結構，該襯底包括其上存在帶有通孔(via)的第一電介質層的金屬層，設置在第一電介質層上并帶有互連槽的第二電介質層，在該通孔和互連槽中存在金屬，其形成具有上端的金屬線。在后面的工藝步驟中，除去第二電介質層，并且在之前由第二電介質層占據的空間內提供氣隙，以減小相鄰的金屬線之間的電容。從WO 02/19416可以知道這種方法。為了更好地理解本發(fā)明，附圖說明圖1示出根據WO 02/194...
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