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光電二極管陣列及其制造方法和放射線檢測器的制作方法技術資料下載

技術編號:6843589

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本發(fā)明涉及光電二極管陣列及其制造方法和放射線檢測器。背景技術 就這種光電二極管陣列而言,在現階段,公知有一種具有使光從形成有凸塊電極等面的相反面(背面)入射類型的背面入射型光電二極管陣列(例如參照專利文獻1)。該專利文獻1所揭示的光電二極管陣列是如圖25以及圖26所示那樣的,通過在n型硅基板133上形成方柱狀的p層134而具有pn接合的光電二極管140。對于閃爍器131來說,在形成有光電二極管140的表面(附圖的下側)的背面(附圖的上側)上,經由負電極膜1...
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