技術(shù)編號(hào):6843346
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及與有助于半導(dǎo)體晶片制造的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口(SMIF)系統(tǒng)一起使用的傳送裝置,特別涉及可被構(gòu)成為分度器(indexer)或負(fù)載通道開(kāi)啟器的接口和傳送裝置,其中通過(guò)降低容器門和盒子使其離開(kāi)穩(wěn)固的容器殼,分度器可使工件裝載盒與貯放和傳送容器分離;和通過(guò)升高容器殼使其離開(kāi)穩(wěn)固的容器門和盒子,負(fù)載通道開(kāi)啟器使盒子與容器分離。背景技術(shù) 在美國(guó)專利4532970和4534389中披露了由Hewlett-Packard公司提出的SMIF系統(tǒng)。該SMIF系統(tǒng)的目的是減...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。