技術(shù)編號：6838833
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型是有關(guān)于一種具有晶格不相稱區(qū)的半導(dǎo)體組件，特別關(guān)于一種應(yīng)變溝道晶體管結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)近十幾年來，隨著金氧半場效晶體管(metal-oxide-semiconductorfield effect transistor，MOSFET)尺寸的縮小，包括柵極長度與柵極氧化層厚度的縮小，已使得持續(xù)改善速度效能、密度與每單位IC(integrated circuits)成本成為可能。為了更進一步提升晶體管的效能，可利用在晶體管溝道的應(yīng)變(strain)來改善載...
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