技術(shù)編號:6838754
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型是有關(guān)于一種場效晶體管,且特別是有關(guān)于一種包括具有拉伸應(yīng)變的N型通道晶體管(NMOS)與具有壓縮應(yīng)力的P型通道晶體管(PMOS)的互補式金氧半場效晶體管(CMOS)組件。背景技術(shù)隨著柵極組件尺寸的縮小化,要使金氧半場效晶體管(MOSFET)組件能在低操作電壓下,具有高趨動電流和高速的效能是相當(dāng)困難的。因此,許多人在努力尋求改善金氧半場效晶體管組件的效能的方法。利用應(yīng)變引發(fā)的能帶結(jié)構(gòu)變型來增加載子的遷移率,以增加場效晶體管的趨動電流,可改善場效晶體...
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