技術(shù)編號：6836316
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。,器件制造方法,和由此制造的器件的制作方法本發(fā)明涉及一種光刻投影設(shè)備，包括用于提供輻射的投影光束的輻射系統(tǒng)；用于支撐構(gòu)圖部件的支撐結(jié)構(gòu)，所述構(gòu)圖部件用于根據(jù)所需圖案構(gòu)圖該投影光束；用于支持基底的基底臺；和用于將所構(gòu)圖的光束投影在所述基底靶部的投影系統(tǒng)；背景技術(shù)這里使用的術(shù)語“構(gòu)圖部件”應廣義地解釋為能夠給入射的輻射光束的截面賦予圖案的部件，其中所述的圖案與在基底的靶部上形成的圖案一致；術(shù)語“光閥”也可以在上下文中使用。一般地，所述圖案與形成在靶部中器件的特...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。