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壓電陶瓷執(zhí)行器遲滯特性的復(fù)合線性化控制方法及其實(shí)現(xiàn)電路的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6834831

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本發(fā)明屬于線性化控制,特別涉及一種壓電陶瓷執(zhí)行器遲滯特性線性化的線性化控制方法。本發(fā)明還涉及一種該方法的實(shí)現(xiàn)電路。背景技術(shù)壓電陶瓷執(zhí)行器具有體積小、能量密度高、定位精度高、分辨率高、頻響快等優(yōu)點(diǎn), 在精密定位、微機(jī)電系統(tǒng)、微納米制造技術(shù)、納米生物工程等領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。但是壓電陶瓷執(zhí)行器的輸出位移與控制電壓的遲滯非線性特性給壓電陶瓷執(zhí)行器的定位控制帶來了很大的困難。目前,實(shí)現(xiàn)壓電陶瓷執(zhí)行器定位控制的方法主要有三大類第一類是使用電荷驅(qū)動(dòng)替代一般的電壓驅(qū)動(dòng)...
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