技術(shù)編號(hào)：6832738
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是通過兩個(gè)驅(qū)動(dòng)電極的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)一種低閾值電壓直交流可分的MEMS開關(guān)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)。背景技術(shù) MEMS開關(guān)具有低的插入損耗，高的隔離度，寬的工作頻帶，易與高速電子器件集成以及好的線性度，在象雷達(dá)和無線通訊等重量和體積要求嚴(yán)格的領(lǐng)域，得到了廣泛的應(yīng)用。并聯(lián)電容式膜開關(guān)與串聯(lián)接觸式開關(guān)相比其優(yōu)點(diǎn)在于消除了導(dǎo)線間直接接觸帶來的接觸損耗和微連接力。傳統(tǒng)的MEMS電容式開關(guān)一般采用固支梁結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)的MEMS開關(guān)具有如下的缺點(diǎn)較高...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。