技術編號：68313
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本 發(fā)明涉及掃描隧道顯微鏡技術領域，特別是涉及一種同時具有大范圍和高深-寬比測量能力的掃描隧道顯微鏡。背景技術具有特定功能的微小表面拓撲形狀的大范圍、高深_寬比三維微納結構，包括 (1)微光學元件，如凹槽、微透鏡陣列、微金字塔結構等；(2)微型模具，如二維平面光柵金屬模板、微鏡頭陣列成型模具，LCD顯示屏導光板模具等，它們已經(jīng)成為光電、通訊以及精密測量等領域的關鍵零部件，由此衍生出的產(chǎn)品如數(shù)碼相機、傳真機、掃描儀、高清晰顯示系統(tǒng)、光纖通訊、平面光柵定位系統(tǒng)等已形成了數(shù)以億計的全球市場，在航空、航天、電子、化...
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