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半導(dǎo)體器件的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6830906

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本發(fā)明涉及采用絕緣膜的半導(dǎo)體器件及其制造方法,該器件被稱為薄膜晶體管(以下稱為“TFT”)。本發(fā)明還涉及在700℃或更低溫度下在絕緣襯底上高產(chǎn)率地制造高性能的可靠的絕緣柵半導(dǎo)體器件的方法,以及通過組裝多個這樣的半導(dǎo)體器件制造集成電路(IC)的方法。該器件可用作液晶顯示器等的有源矩陣、圖象傳感器等的驅(qū)動電路、SOI(絕緣體上的硅)電路的TFT、以及諳如微處理器、微控制器、微型計算機和半導(dǎo)體存儲器之類的常規(guī)半導(dǎo)體IC的TFT。通常,液晶顯示器件和圖象傳感器件是...
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