技術(shù)編號(hào):6820239
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用來(lái)對(duì)半導(dǎo)體晶片或光盤(pán)用的基板或者液晶、顯示用基板之類(lèi)的薄板狀的工件施行熱處理的熱處理裝置。本申請(qǐng)人等在此之前曾由特愿平9-140492號(hào)提出了一種熱處理裝置用珀?duì)柼?Peltier)器件來(lái)加熱處理薄板狀的工件。上述熱處理裝置,如圖4所示,在用來(lái)載置工件W的傳熱板21的下部,依次設(shè)置有多個(gè)輔助加熱用的珀耳帖器件22;內(nèi)置有電加熱器的主加熱裝置23;介以熱交換用的珀?duì)柼骷?4而置位的冷卻裝置25。這樣一來(lái),在對(duì)在上述傳熱板21上邊保持小的間隙而載...
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