技術編號:6814645
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及。更具體地說,本發(fā)明涉及制造在半導體襯底上帶有電容器的半導體器件的方法。近年來,對高密度和高速的低功耗半導體器件一直存在需求。這種常規(guī)半導體器件的一個代表是墻發(fā)射極式(Walled-emitter type)NPN雙極晶體管。在NPN雙極晶體管結(jié)構(gòu)中,發(fā)射極區(qū)域由隔離膜環(huán)繞以使至少有一部分發(fā)射區(qū)與隔離膜周邊接觸。這種結(jié)構(gòu)不僅可降低發(fā)射極與基極間的結(jié)電容,而且由于其發(fā)射極和基極自對準形式使晶體管小型化,還能滿足對晶體管的高速、高密度和低功耗要求。日...
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