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制造表面發(fā)射半導體激光器中的掩埋式隧道結的方法技術資料下載

技術編號:6805737

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本發(fā)明涉及一種及這種類型的激光器。背景技術 表面發(fā)射激光二極管(英文為Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser(垂直諧振器表面發(fā)射激光器)或VCSEL)是其中光發(fā)射垂直于半導體芯片表面發(fā)生的半導體激光器。與傳統(tǒng)的邊緣發(fā)射激光二極管相比,表面發(fā)射激光二極管具有幾個優(yōu)點,如低電功耗、可以在晶片上直接檢查激光二極管、與玻璃纖維簡單耦接選擇、縱單模光譜、以及可以與二維矩陣互連表面發(fā)射激光二極管。在光纖通訊中,因為波長相關耗散或吸...
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