技術(shù)編號：6791572
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路制造加工工藝技術(shù)。集成電路，尤其是大規(guī)模與超大規(guī)模集成電路作為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的熱點之一，眾多專著(例如《集成電路工程》，(美)格拉塞爾等著，黃善煥等譯，人民郵電出版社1985年4月版，統(tǒng)一書號15045·總2933-有5380;《超大規(guī)模集成電路技術(shù)》，(美)施敏主編，章定康等譯，科學(xué)出版社1987年11月版，統(tǒng)一書號15031·873)詳細(xì)論述了包括涂膠、光刻、腐蝕、清洗、烘干數(shù)道工序在內(nèi)的集成電路制造方法。在這種工藝前提下，我國已有許多...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。