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技術(shù)編號：6788638

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料薄膜晶體管制備，涉及一種高k介質(zhì)氧化鋁(Al2O3)和新型半導(dǎo)體溝道材料銦鈦鋅氧化物(In-T1-Zn-0，ΙΤΖ0)四元合金氧化物薄膜晶體管的制備工藝，特別是。背景技術(shù)近年來，薄膜晶體管(ThinFilm Transistor, TFT)在有源矩陣驅(qū)動液晶顯示器件(Active MatrixLiquidCrystal Display, AMIXD)中發(fā)揮了重要作用，從低溫非晶娃 TFT 到高溫多晶娃TFT,技術(shù)越來越成熟,應(yīng)用對象從只...
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