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具有無源層的多層壓電換能器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6765324

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用于定位控制對象的裝置,例如用于毗鄰數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)定位讀/寫換能器的微致動器。根據(jù)一些實施例,壓電換能器(PZT)部件適于感應(yīng)出彎曲工作模式下的控制對象的旋轉(zhuǎn)位移。PZT部件具有多個壓電材料層和設(shè)置在這些壓電材料層之間的多個導(dǎo)電層。壓電材料層包括有源層的第一子集以及至少一個無源層。專利說明具有無源層的多層壓電換能器[0001]本公開的各實施例總體針對一種定位控制對象的裝置,例如用來在數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)附近定位讀/寫換能器的微致動器。[0002]根據(jù)一些實施例,壓電...
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