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光記錄介質(zhì)主盤(pán)曝光裝置及光記錄介質(zhì)主盤(pán)曝光方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6761491

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本發(fā)明涉及一種光記錄介質(zhì)主盤(pán)曝光裝置和一種光記錄介質(zhì)主盤(pán)曝光方法,其中通過(guò)用來(lái)自于曝光光源的光照射涂覆有光致抗蝕劑的光記錄介質(zhì)主盤(pán)而曝光成與記錄信息相應(yīng)的圖形。背景技術(shù) 用于制造如CD(光盤(pán))、MD(小型盤(pán))和DVD(數(shù)字通用盤(pán))的各種光盤(pán)和磁光盤(pán)之類(lèi)的光記錄介質(zhì)的光記錄介質(zhì)主盤(pán)可通過(guò)曝光和顯影來(lái)制造,即例如通過(guò)切割出與形成在盤(pán)狀主盤(pán)基底的光致抗蝕劑表面上的記錄信息相應(yīng)的凹凸圖形來(lái)制造。用于切割凹凸圖形的主要裝置(mastering apparatus)即...
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