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電可擦除可編程只讀存儲(chǔ)器及其制造和操作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6759849

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本發(fā)明總地涉及半導(dǎo)體存儲(chǔ)器器件,更特別地,涉及電可擦可編程只讀存儲(chǔ)器(EEPROM)及其制造和操作方法。背景技術(shù) 半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件通常分為中斷電源時(shí)丟失所存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的易失性存儲(chǔ)器件或即使中斷電源時(shí)仍保持所存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的非易失性存儲(chǔ)器件。電可擦除可編程只讀存儲(chǔ)器(EEPROM)是一種非易失性存儲(chǔ)器件。EEPROM通常在各單位存儲(chǔ)單元中采用堆疊柵極結(jié)構(gòu),其中堆疊柵極結(jié)構(gòu)包括浮置柵極和形成在浮置柵極上方的控制柵極。同時(shí),可以使用不同的制造技術(shù)來(lái)形成半導(dǎo)體器件。一種這樣的...
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