技術(shù)編號(hào)：6523626
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提出一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，用于科學(xué)地管理每一片晶圓的CMP加工信息，方便工藝人員登錄和訪問(wèn)數(shù)據(jù)庫(kù)，包括客戶端，用于向服務(wù)器端發(fā)出訪問(wèn)請(qǐng)求建立連接并要求各項(xiàng)服務(wù)；以及服務(wù)器端，用于響應(yīng)客戶端的訪問(wèn)請(qǐng)求與客戶端建立連接，并提供服務(wù)?？蛻舳诉\(yùn)行在上位機(jī)IPC中。服務(wù)器端，利用MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng)建立數(shù)據(jù)庫(kù)，用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)庫(kù)中，根據(jù)晶圓編號(hào)、晶圓狀態(tài)、加工時(shí)間和工藝配方名稱(chēng)等主要字段，建立一系列完整的晶圓CMP加工信息數(shù)據(jù)表格...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
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