技術(shù)編號(hào)：6306175
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種溫度補(bǔ)償方法，包括在硅片保持件上安裝多個(gè)第二溫度傳感器；將硅片保持件搬入處理容器內(nèi)，各第二溫度傳感器和處理容器內(nèi)的多個(gè)第一溫度傳感器一一對(duì)應(yīng)；控制加熱器以第二溫度傳感器為控溫對(duì)象調(diào)整處理容器內(nèi)的溫度，使第二傳感器采集的溫度上升至多個(gè)離散溫度點(diǎn)，當(dāng)采集溫度收斂于離散溫度點(diǎn)時(shí)控制其在該離散溫度點(diǎn)恒溫一定時(shí)間段；在每一離散溫度點(diǎn)的恒溫時(shí)間段內(nèi)周期性記錄多個(gè)第一和第二溫度傳感器所采集的溫度，并計(jì)算兩者的溫度差異值；在實(shí)際熱處理工藝中，根據(jù)各離散溫度...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。