技術(shù)編號(hào):6286972
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于激光應(yīng)用,特別是一種基于熱電致冷器的雙縱模激光器 偏頻鎖定方法及其裝置。背景技術(shù)近年來,以光刻機(jī)和數(shù)控機(jī)床為代表的超精密測(cè)量與加工技術(shù)朝著大尺度、 離精度、多空間自由度同步測(cè)量方向發(fā)展,對(duì)激光干涉測(cè)量系統(tǒng)提出了新的要 求,表現(xiàn)在 一方面,加工線寬的減小要求干涉測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量不確定度從10—7 捧高到l(T8,進(jìn)而要求激光光源的相對(duì)頻率穩(wěn)定度要達(dá)到1(T8;另一方面,大測(cè) 量尺度與多空間自由度同步測(cè)量導(dǎo)致干涉測(cè)量系統(tǒng)的總激光功率消耗急劇增 加,遠(yuǎn)超...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。