技術(shù)編號(hào)：6278931
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及分配流體的領(lǐng)域。更特別地，本發(fā)明涉及在 分配過程結(jié)尾時(shí)。背景技術(shù)半導(dǎo)體制造經(jīng)常需要在硅晶片上分配各種液體。在旋涂式玻璃("SOG")方法中，用管嘴將典型地是二氧化硅溶液的SOG材料分 配到硅晶片的中心上。然后立即以高速旋轉(zhuǎn)晶片，使得在晶片上鋪開 SOG材料。分配SOG材料的量、SOG材料溶液的表面張力、SOG 材料溶液的粘性、SOG材料的氧化物濃度以及晶片的旋轉(zhuǎn)速度影響 作為結(jié)果的膜厚度。在許多半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中，使用泵和閥門來控制從管嘴分配...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。