技術(shù)編號：6250610
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種具有高過載低加速度干擾的微壓力傳感器，包括硅質(zhì)基底，硅質(zhì)基底的背面中部設(shè)有空腔，硅質(zhì)基底的背面與硼玻璃鍵合，硼玻璃的中部具有凸臺結(jié)構(gòu)，硅質(zhì)基底的背面空腔與硼玻璃的凸臺結(jié)構(gòu)相配合，在硅質(zhì)基底的正面腐蝕形成相互垂直的第一梁和第二梁，在硅質(zhì)基底的背面腐蝕形成平膜，第一梁和第二梁與硅質(zhì)基底四周的梁共同形成梁膜結(jié)構(gòu)，第一梁和第二梁的兩端沿著100晶向在應(yīng)力最大處布置有壓敏電阻，四個(gè)壓敏電阻通過金屬引線和焊盤相互連接組成惠斯通電橋，采用了硼玻璃的凸臺結(jié)構(gòu)，限位設(shè)計(jì)...
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