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技術(shù)編號(hào)：6248887

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本發(fā)明公開了一種小型化耐高過載數(shù)字式MEMS陀螺儀傳感器，在LTCC基板上，通過點(diǎn)膠、金絲鍵合、共金焊或平行封焊中的一種或多種工藝將MEMS陀螺儀敏感結(jié)構(gòu)和信號(hào)處理電路組裝上，在LTCC基板上焊接容納MEMS陀螺儀敏感結(jié)構(gòu)和信號(hào)處理電路的金屬圍框，金屬圍框上焊接金屬蓋板形成封閉。本發(fā)明中的小型化耐高過載數(shù)字式MEMS陀螺儀傳感器采用一種新型的MEMS敏感結(jié)構(gòu)和數(shù)字式信號(hào)處理電路，并通過基于LTCC材料制作的封裝基板將二者組裝起來，大大縮小了陀螺儀的尺寸，并...
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