技術(shù)編號：6230439
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種，由剛性支承、雙端音叉和鎢探針構(gòu)成。剛性支承為整個掃描探針測頭系統(tǒng)的剛性支承件，用于固定整個測頭機構(gòu)，并對雙端音叉的一個叉端形成全約束。雙端音叉的一個叉端連接于剛性支承底面，另一叉端作為自由端且下方底面正中間固定設(shè)置大長徑比鎢探針。本發(fā)明方法采用四周分割法在放置電極，激勵雙端音叉兩個叉臂沿厚度方向反相彎曲振動。設(shè)置鎢探針在豎直Z方向上以接觸模式與試樣碰觸，檢測叉臂諧振信號的變化以表征所述鎢探針尖端與試樣表面的碰觸程度。本發(fā)明可用于對軟材料等...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。