技術(shù)編號：6227641
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開，裝置包括激光光源、DMD、第一CCD相機(jī)及第二CCD相機(jī)；激光光源發(fā)出光束照射在DMD表面，經(jīng)由DMD表面的微鏡反射后，于反射空間內(nèi)出現(xiàn)一對互補(bǔ)像，該一對互補(bǔ)像的對應(yīng)反射光束分別被第一CCD相機(jī)和第二CCD相機(jī)同時(shí)接收，將所接收的一對互補(bǔ)像進(jìn)行疊加處理，即實(shí)現(xiàn)消除DMD微鏡抖動，從而可以消除DMD用于表面形貌測量時(shí)所產(chǎn)生的重要誤差源。去除抖動裝置結(jié)構(gòu)簡單，去除抖動方法簡潔、易于控制，所達(dá)到的去除抖動效果優(yōu)良。專利說明[0001]本發(fā)明涉及數(shù)字微...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。