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半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置及半導(dǎo)體評(píng)價(jià)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6217658

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本發(fā)明的目的在于提供一種,其成本低,且不增加評(píng)價(jià)工序所花費(fèi)的時(shí)間,能夠簡(jiǎn)單地抑制被測(cè)定物上的局部放電的發(fā)生。半導(dǎo)體評(píng)價(jià)裝置(1)具有卡盤臺(tái)(3),其對(duì)作為被測(cè)定物的半導(dǎo)體裝置(5)進(jìn)行保持;接觸探針(10),其用于與保持在卡盤臺(tái)(3)上的半導(dǎo)體裝置(5)接觸而評(píng)價(jià)半導(dǎo)體裝置(5)的電氣特性;以及流體吹出部(7),其向半導(dǎo)體裝置(5)吹出流體。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及一種,其在向被測(cè)定物吹出流體的狀態(tài)下,實(shí)施對(duì)被測(cè)定物的電氣特性的評(píng)價(jià)。背景技術(shù)[000...
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