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用于半導(dǎo)體器件的熱阻測試方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6216439

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件的熱阻測試方法,包括如下步驟1)根據(jù)半導(dǎo)體器件的結(jié)構(gòu),確定主要導(dǎo)熱通道,在主要導(dǎo)熱通道的外殼表面設(shè)置良好接觸的恒溫平面;2)給半導(dǎo)體器件加載一定的功率,待所述半導(dǎo)體器件達(dá)到熱平衡以后,切換為向半導(dǎo)體器件加載測量功率,通過實(shí)時(shí)測量半導(dǎo)體器件的溫敏參數(shù)得到測量半導(dǎo)體器件的結(jié)溫,進(jìn)而得到半導(dǎo)體器件的瞬態(tài)熱響應(yīng)曲線;3)根據(jù)所述瞬態(tài)熱響應(yīng)曲線確定半導(dǎo)體器件結(jié)到殼的熱阻。本發(fā)明通過半導(dǎo)體器件的襯底的P區(qū)和N區(qū)加載加熱功率,利用半導(dǎo)體器件中已有...
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