技術編號：6207088
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于精密儀器與測量，特別是一種基于差動象散離焦檢測的超精密三維瞄準與測量傳感器。背景技術高精度測頭/傳感器是各種精密坐標測量機、測長機、尺寸與形狀測量儀的關鍵部件，近年來，隨著具有大深寬比的狹槽、深盲孔等內腔體零件的廣泛應用，對瞄準與測量傳感器的可測深度和測量精度都提出了更高要求。掃描式傳感器具有精度高、可同時實現(xiàn)瞄準與測量等突出優(yōu)點，是超精密測量儀器與裝備的核心技術單元，國外嚴格禁運。掃描式瞄準與測量傳感器在原理上是采用檢測機構與柔性位移傳遞機構相...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。