技術(shù)編號：6194129
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種帶自我標(biāo)定功能的微慣性傳感器?，F(xiàn)有的帶自我標(biāo)定功能的傳感器標(biāo)定范圍小。本實用新型中敏感器質(zhì)量塊為刻蝕有柵條形井的矩形硅片，兩對應(yīng)端通過硅支撐梁與錨點連接，另兩個對應(yīng)端分別設(shè)置有矩形硅條。驅(qū)動器質(zhì)量塊設(shè)置在敏感器質(zhì)量塊的兩側(cè)，中間刻有環(huán)形槽，兩側(cè)設(shè)置有可動質(zhì)量塊驅(qū)動硅條和驅(qū)動器驅(qū)動硅條，敏感器質(zhì)量塊連接的硅條與對應(yīng)的質(zhì)量塊驅(qū)動硅條組成質(zhì)量塊驅(qū)動電容。固定驅(qū)動硅條的梳齒條與可動驅(qū)動器驅(qū)動硅條組成驅(qū)動器驅(qū)動電容。敏感器質(zhì)量塊連接的梳型硅條與固定...
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