技術(shù)編號：6178654
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種具有高靈敏度快速響應(yīng)的MEMS電容式濕度傳感器，該傳感器包括襯底（1），覆蓋有感濕介質(zhì)（2）的叉指正電極（1-2）；其中，襯底（1）位于檢測電容的底部，起基座作用，感濕介質(zhì)（2）覆蓋在叉指正電極（1-2）、叉指負電極（1-3）的表面，叉指負電極（1-3）與襯底（1）之間設(shè)有空腔（1-5），感濕介質(zhì)（2）與叉指電極（1-2）、（1-3）之間的空氣層（3）構(gòu)成檢測電容的感濕結(jié)構(gòu)；所述檢測電容呈叉指懸臂梁結(jié)構(gòu)。本發(fā)明提供的電容式濕度傳感器具有靈敏...
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