技術(shù)編號：6178037
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了，包括以下步驟1）在陶瓷襯底上涂覆SU-8光刻膠，光刻出微結(jié)構(gòu)圖形；2）在光刻完成的陶瓷基片上用磁控濺射的方法沉積Pt金屬；3）將上述得到的陶瓷基片在O2氣氛中燒蝕或者放入鹽浴中去除SU-8膠；4）結(jié)束，最后得到沉積在陶瓷襯底上的Pt金屬微結(jié)構(gòu)圖形。該發(fā)明利用了SU-8負(fù)性光刻膠耐熱性好的特點，用剝離工藝制造Pt電阻溫度傳感器，工藝簡單易行，大大降低了成本。專利說明[0001]本發(fā)明涉及傳感器制造技術(shù)，尤其是涉及。背景技術(shù)[0002]Pt金屬由...
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