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電容式加速度計(jì)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6176637

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本發(fā)明提供一種電容式加速度計(jì),包括基板、檢測(cè)質(zhì)量塊及至少一個(gè)支撐基座,支撐基座固定在所述基板上,檢測(cè)質(zhì)量塊通過(guò)一相對(duì)設(shè)置的彈片以非對(duì)稱的方式懸置在支撐基座的表面,在基板上相對(duì)設(shè)置有至少兩個(gè)電極,電極分別對(duì)應(yīng)于檢測(cè)質(zhì)量塊質(zhì)量較大的一側(cè)和質(zhì)量較小的一側(cè),用于與檢測(cè)質(zhì)量塊形成電容,所述支撐基座具有一支撐中心,所述電極具有一電極中心,所述支撐中心與所述電極中心重合,且所述支撐基座到所述支撐中心的平均距離與所述電極到所述電極中心的平均距離相等或近似相等。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)...
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