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技術(shù)編號：6176188

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MEMS 三維靜動態(tài)測試系統(tǒng)屬于測試系統(tǒng)領(lǐng)域，尤其是涉及一種 MEMS 三維靜動態(tài)測試系統(tǒng)的改進。本發(fā)明提供一種測試過程具有高速可視化非接觸性特點的 MEMS 三維靜動態(tài)測試系統(tǒng)。本發(fā)明包括顯示干涉儀、顯微視覺模塊、頻閃照明模塊、 PZT 驅(qū)動器、 PZT 相移器、多功能數(shù)據(jù)卡、信號放大器、圖像采集模塊，其結(jié)構(gòu)要點是顯示干涉儀、顯微視覺模塊、頻閃照明模塊、 PZT 驅(qū)動器、 PZT 相移器、多功能數(shù)據(jù)卡、信號放大器、圖像采集模塊依...
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