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一種基于邊界微分和環(huán)境光自校準(zhǔn)的激光測徑儀的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6171449

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一種基于邊界微分和環(huán)境光自校準(zhǔn)的激光測徑儀,是一種利用邊界微分算法來解決邊界信號的采集,采用環(huán)境光自校準(zhǔn)算法來解決橢圓高斯光束的像散與表面衍射問題,采用限光孔來約束掃描轉(zhuǎn)鏡的抖動誤差的激光掃描測徑儀。本發(fā)明在一般光學(xué)實(shí)驗(yàn)室條件下就能搭建,能夠?qū)崿F(xiàn)高精度測徑測厚,具有自校準(zhǔn)、系統(tǒng)成本低,測量精度高等特點(diǎn)。專利說明一種基于邊界微分和環(huán)境光自校準(zhǔn)的激光測徑儀[0001]本發(fā)明涉及一種測量固件直徑或厚度的儀器,特別是一種用于高精度測量固件直徑的儀器,屬于光學(xué)。背景...
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