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飛秒激光脈沖序列加工的全光纖傳感器及其制作方法技術資料下載

技術編號:6170274

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本發(fā)明涉及一種飛秒激光脈沖序列加工的全光纖傳感器的制造方法,包括以下步驟取光纖,用剝離鉗子去單模除光纖上的一段涂覆層;采用飛秒激光脈沖序列三維微加工;在光纖上燒蝕出一U型微通道,采用飛秒激光脈沖序列燒蝕掉部分光纖的包層與芯層后,得到的空氣腔的微通道;在微通道打通后,將光纖浸泡在5%的HF酸中,在超聲波的輔助下后處理45分鐘,使得微通道內壁粗糙度降低,從而可獲得一個衰減峰較低的透射譜線。本發(fā)明的有益效果為采用飛秒激光脈沖序列加工實現一種單步成型且結構簡單的高...
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