技術編號：6169814
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種，包括提供待測試半導體器件；在指定測試條件內(nèi)，對所述半導體器件的至少2個參數(shù)同時進行老化測試并獲得測試數(shù)據(jù)，其中，選取測試的參數(shù)之間具有關聯(lián)性，且所述指定測試條件至少包括指定時間；根據(jù)測試數(shù)據(jù)，獲取基于測試參數(shù)的衰減關聯(lián)系數(shù)，若所述衰減關聯(lián)系數(shù)在指定時間內(nèi)為非衰減態(tài)，更改指定測試條件，并重新測試衰減關聯(lián)系數(shù)，直至所述衰減關聯(lián)系數(shù)在指定時間內(nèi)為衰減態(tài)；基于在指定時間內(nèi)為衰減態(tài)的衰減關聯(lián)系數(shù)，獲取所述半導體器件老化狀態(tài)。本發(fā)明提供的半導體器件老化測試耗費的...
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